微导纳米
薄膜沉积和刻蚀装备制造商 | - | -
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基本信息

公司名称: 江苏微导纳米科技股份有限公司

公司描述: 江苏微导纳米科技股份有限公司以原子层沉积(ALD)技术为核心,主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售,向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。公司目前产品主要以批量式(管式)ALD设备为主。在半导体领域,ALD设备仍基本由境外厂商垄断,公司是行业内极少数的新进入者和国产厂商代表之一,先后获得多家知名半导体公司的商业订单,并在报告期内实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺(高介电常数栅氧层材料沉积环节)中的突破。

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